Arkkad plazma manbai - Cascaded Arc Plasma Source

Arkkad plazma manbai

The kaskadli yoy devor bilan barqarorlashtirilgan termal hisoblanadi elektr yoyi yuqori zichlik, past harorat hosil qiluvchi zaryadsizlanish plazma.

Umumiy

Da rivojlangan kaskadli kamon manbai Eyndxoven texnologiya universiteti,[1][2] quyidagi rasmda ko'rsatilgan. Boshqa chiziqli plazma generatorlarida plazma manbalari bilan taqqoslaganda, bu manba yuqori zichlikdagi argon va vodorod plazmalarini ishlab chiqarishi mumkin (mos ravishda 1021 – 1024 va 1019 – 1022 m−3) nisbatan past darajada elektron harorati (~ 1 ev). Manbadagi zarrachalarning to'qnashuv chastotasi yuqori bo'lganligi sababli plazma issiqlik muvozanatida va oqilona bir hil.

Kaskadli yoy uchtasi gaz kirish qismidan iborat volfram katodlar, kaskadli plitalar, nozul va anod. Katod kamerasiga gaz kirish yo'li bilan ishlaydigan gaz - argon yoki vodorod oqishi mumkin. Manba odatda 0,5-3,0 da ishlaydislm (2.2×1020 – 1.3×1020 sekundiga zarrachalar) va chiqindilar oqimi 100–300 A. Katod va anod orasidagi kaskadli plitalar bir-biridan 1 mm qalinlikda elektr izolyatsiya qilingan Bor nitridi plitalar. The Kuchlanish bu plitalarning suzuvchi salohiyati. Ikkala ko'krak va anod ham tuproqli.

Shuningdek qarang

Tashqi havolalar

Adabiyotlar

  1. ^ [1] G.M.W. Kroesen, DC Schram va J.C.M. de Haas, Plazma kimyosi va plazmani qayta ishlash, 10 (4): 531-551, 1990.
  2. ^ [2] M.C.M. van de Sanden, GJX. Brussaard, VM Kessels, A. de Graaf, M.F.A.M. van Xest, K.G.Y. Letourneur va D.C. Shram