Bosimni o'lchash - Pressure measurement

Keng ishlatiladigan Burdon bosim o'lchagichining misoli

Qopqog'i plastik bosimini shinalardagi bosim ko'rsatkichi bilan tekshirish

Bosimni o'lchash bu amaliy qo'llanmaning tahlili kuch tomonidan a suyuqlik (suyuqlik yoki gaz ) yuzada. Bosim odatda birlik birligiga kuch birliklari bilan o'lchanadi sirt maydoni. Bosimni o'lchash uchun ko'plab texnikalar ishlab chiqilgan vakuum. Integral birlikda bosimni o'lchash va ko'rsatish uchun ishlatiladigan asboblar deyiladi bosim o'lchagichlari yoki bosim ko'rsatkichlari yoki vakuum o'lchagichlari. A manometr yaxshi namunadir, chunki u suyuqlik ustunining sirtini va vaznini bosimni o'lchash va ko'rsatish uchun ishlatadi. Xuddi shunday keng qo'llaniladigan Bourdon o'lchovi ham o'lchaydigan, ham ko'rsatadigan va ehtimol eng yaxshi ma'lum bo'lgan o'lchov turi bo'lgan mexanik qurilma.

Vakuum o'lchagichi manfiy qiymatlarda nol nuqtasi sifatida o'rnatiladigan atrof-muhit atmosfera bosimidan pastroq bosimlarni o'lchash uchun ishlatiladigan bosim ko'rsatkichidir (masalan: -15)psig yoki -760mm simob ustuni umumiy vakuumga teng). Ko'pgina o'lchov asboblari bosimni atmosfera bosimiga nisbatan nol nuqtasi sifatida o'lchaydilar, shuning uchun o'qishning ushbu shakli oddiygina "o'lchov bosimi" deb nomlanadi. Biroq, umumiy vakuumdan kattaroq narsa texnik jihatdan bosimning bir shakli hisoblanadi. Juda aniq ko'rsatkichlar uchun, ayniqsa juda past bosimlarda, nol nuqtasi sifatida umumiy vakuumdan foydalanadigan o'lchov vositasi ishlatilishi mumkin, bu esa bosim ko'rsatkichlarini mutlaq o'lchov.

Bosim o'lchashning boshqa usullari bosim ko'rsatkichini masofadan indikatorga yoki boshqarish tizimiga o'tkazadigan datchiklarni o'z ichiga oladi (telemetriya ).

Mutlaq, o'lchov va differentsial bosim - nolga mos yozuvlar

Kundalik bosim o'lchovlari, masalan, avtomobil shinalari bosimi, odatda atrof-muhit havosi bosimiga nisbatan amalga oshiriladi. Boshqa hollarda o'lchovlar vakuumga yoki boshqa biron bir mos yozuvlarga nisbatan amalga oshiriladi. Ushbu nolga mos yozuvlar orasidagi farqni ajratishda quyidagi atamalardan foydalaniladi:

• Mutlaq bosim dan foydalanib, mukammal vakuumga qarshi nolga ishora qiladi mutlaq o'lchov, shuning uchun u bosim bosimiga va atmosfera bosimiga teng.
• Bosim o'lchagichi atrofdagi havo bosimiga qarshi nolga ishora qiladi, shuning uchun u atmosfera bosimidan minus mutlaq bosimga teng. Salbiy belgilar odatda qoldiriladi.^{[iqtibos kerak ]} Salbiy bosimni farqlash uchun qiymat "vakuum" so'zi bilan qo'shilishi yoki o'lchagichga "vakuum o'lchagich" yorlig'i qo'yilishi mumkin. Ular yana ikkita kichik toifaga bo'linadi: yuqori va past vakuum (va ba'zan) ultra yuqori vakuum ). Vakumlarni o'lchash uchun qo'llaniladigan ko'plab texnikalarning amaldagi bosim oralig'i bir-birini qoplaydi. Demak, bir necha xil o'lchov turlarini birlashtirib, tizim bosimini doimiy ravishda 10 dan o'lchash mumkinmbar 10 gacha⁻¹¹ mbar.
• Differentsial bosim bu ikki nuqta orasidagi bosimning farqidir.

Amaldagi nolinchi mos yozuvlar odatda kontekstda nazarda tutiladi va bu so'zlar faqat tushuntirish zarur bo'lganda qo'shiladi. Shinalar bosimi va qon bosimi Konventsiya bo'yicha bosim ko'rsatkichlari, ammo atmosfera bosimi, chuqur vakuum bosimi va altimetr bosimi mutlaq bo'lishi kerak.

Ko'pchilik uchun ishlaydigan suyuqliklar suyuqlik mavjud bo'lgan joyda yopiq tizim, bosim o'lchovi ustunlik qiladi. Tizimga ulangan bosim asboblari joriy atmosfera bosimiga nisbatan bosimni bildiradi. Haddan tashqari vakuum bosimini o'lchashda vaziyat o'zgaradi, keyin uning o'rniga mutlaq bosim qo'llaniladi.

Differentsial bosim odatda sanoat jarayonlari tizimlarida qo'llaniladi. Differentsial bosim o'lchagichlari ikkita kirish portiga ega, ularning har biri bosimini nazorat qilish kerak bo'lgan hajmlardan biriga ulangan. Darhaqiqat, bunday o'lchov mexanik vositalar yordamida olib tashlashning matematik ishini bajaradi, operatorga yoki boshqaruv tizimiga ikkita alohida o'lchagichni tomosha qilish va o'qishlar farqini aniqlash uchun ehtiyojni yo'q qiladi.

O'rtacha vakuum bosimining ko'rsatkichlari tegishli kontekstsiz noaniq bo'lishi mumkin, chunki ular salbiy bosimsiz mutlaq bosim yoki o'lchov bosimini ko'rsatishi mumkin. Shunday qilib, 26 dyuym o'lchagichli vakuum, 30 dyuym (odatdagi atmosfera bosimi) - 26 dyuym (o'lchov bosimi) sifatida hisoblab chiqilgan, 4 dyuymlik muttasil bosimga teng.

Atmosfera bosimi odatda 100 ga tengkPa dengiz sathida, lekin balandligi va ob-havosi bilan o'zgaruvchan. Agar suyuqlikning absolyut bosimi doimiy bo'lib qolsa, xuddi shu suyuqlikning o'lchov bosimi atmosfera bosimi o'zgarganda o'zgaradi. Masalan, mashina tog'dan ko'tarilganda, atmosfera bosimi pasayganligi sababli, shinalar bosimi ko'tariladi. Shinalardagi mutlaq bosim asosan o'zgarmaydi.

Atmosfera bosimini mos yozuvlar sifatida ishlatish, odatda bosim birligidan keyin o'lchov uchun "g" belgisi bilan belgilanadi, masalan. 70 psig, ya'ni o'lchangan bosim umumiy bosim minus ekanligini anglatadi atmosfera bosimi. Ikkita o'lchov mos yozuvlar bosimi mavjud: shamollatuvchi o'lchov (vg) va muhrlangan o'lchov (sg).

Shamollatgich bosim o'tkazgich Masalan, tashqi havo bosimini bosimni sezuvchi diafragmaning salbiy tomoniga, shamollatuvchi simi yoki qurilmaning yon tomonidagi teshik orqali ta'sir qilishiga imkon beradi, shunda u har doim atrof-muhitga tegishli bosimni o'lchaydi. barometrik bosim. Shunday qilib, shamollatilgan o'lchov moslamasi bosim sensori jarayon bosim ulanishi havoga ochiq tutilganda har doim nol bosimni o'qishi kerak.

Muhrlangan o'lchov moslamasi juda o'xshash, faqat atmosfera bosimi diafragmaning salbiy tomoniga muhrlangan. Bu odatda yuqori bosim oralig'ida qabul qilinadi, masalan gidravlika, bu erda atmosfera bosimining o'zgarishi o'qishning aniqligiga ahamiyatsiz ta'sir qiladi, shuning uchun shamollatish kerak emas. Bu, shuningdek, ba'zi ishlab chiqaruvchilarga bosimning dastlabki sezgirligining portlash bosimi bo'lsa, bosim uskunalari xavfsizligi uchun qo'shimcha choralar sifatida ikkilamchi bosimni ushlab turishga imkon beradi diafragma oshdi.

Muhrlangan o'lchov moslamasini yaratishning yana bir usuli bor va bu balandlikni muhrlashdir vakuum sezgir diafragmaning teskari tomonida. Keyin chiqish signali ofsetlanadi, shuning uchun bosim sensori atmosfera bosimini o'lchashda nolga yaqin o'qiydi.

Muhrlangan o'lchov moslamasi bosim o'tkazgich hech qachon aniq nolni o'qimaydi, chunki atmosfera bosimi doimo o'zgarib turadi va bu holda mos yozuvlar 1 barda o'rnatiladi.

Ishlab chiqarish uchun mutlaq bosim sensori, ishlab chiqaruvchi sezgir diafragma orqasida yuqori vakuumni yopadi. Agar absolyut bosimli uzatgichning texnologik-bosimli aloqasi havoga ochiq bo'lsa, u haqiqatni o'qiydi barometrik bosim.

Birlik

A bosim o'lchagich o'qish psi (qizil shkala) va kPa (qora tarozi)

The SI bosim uchun birlik paskal (Pa), biriga teng Nyuton per kvadrat metr (N · m⁻² yoki kg · m⁻¹· Lar⁻²). Ushbu birlik uchun maxsus nom 1971 yilda qo'shilgan; bundan oldin SIdagi bosim N · m kabi birliklarda ifodalangan⁻². Ko'rsatilganida, nol mos yozuvlar birlikdan keyin qavs ichida ko'rsatilgan, masalan, 101 kPa (abs). The kvadrat dyuym uchun funt (psi) hali ham AQSh va Kanadada, masalan, shinalar bosimini o'lchash uchun keng qo'llanilmoqda. Psi birligiga o'lchovning nol ko'rsatkichini ko'rsatadigan xat ko'pincha qo'shiladi; psia mutlaq uchun, o'lchov uchun psig, differentsial uchun psid, garchi bu amaliyotni qo'llab-quvvatlamasa NIST.^[1]

Bosim odatda suyuqlik ustunini manometrda siljitish qobiliyati bilan o'lchanganligi sababli, bosim ko'pincha ma'lum bir suyuqlik chuqurligi sifatida ifodalanadi (masalan, dyuym suv). Manometrik o'lchov mavzusi bosim boshi hisob-kitoblar. Manometr suyuqligi uchun eng keng tarqalgan tanlov simob (Hg) va suv; suv zaharli emas va osonlikcha mavjud, simob zichligi esa ma'lum bir bosimni o'lchash uchun ustunni qisqaroq bo'lishiga imkon beradi (va shuning uchun kichikroq manometr). "W.C." qisqartmasi yoki "suv ustuni" so'zlari ko'pincha manometr uchun suv ishlatadigan o'lchov va o'lchovlarga bosiladi.

Suyuqlik zichligi va mahalliy tortishish mahalliy omillarga qarab bir o'qishdan boshqasiga farq qilishi mumkin, shuning uchun suyuqlik ustunining balandligi bosimni aniq belgilamaydi. Shunday qilib o'lchovlar "millimetr simob "yoki"dyuym simob "suyuqlik zichligi va mahalliy omillariga e'tibor qaratish sharti bilan SI birliklariga aylantirilishi mumkin tortishish kuchi. Haroratning o'zgarishi suyuqlik zichligining qiymatini o'zgartiradi, joylashish esa tortishish kuchiga ta'sir qilishi mumkin.

Endi afzal ko'rilmasa ham, bular manometrik birliklar hanuzgacha ko'plab sohalarda uchraydi. Qon bosimi simob millimetrida o'lchanadi (qarang torr ) dunyoning aksariyat qismida, markaziy venoz bosim va o'pka bosimi santimetr suv CPAP mashinalari sozlamalarida bo'lgani kabi, hali ham keng tarqalgan. Tabiiy gaz quvurining bosimi o'lchanadi dyuym suv, "VC dyuym" bilan ifodalangan.

Suv osti g'avvoslari manometrik birliklardan foydalaning: atrof-muhit bosimi birliklari bilan o'lchanadi metr dengiz suvi (msw) barning o'ndan biriga teng deb belgilanadi. ^[2][3] AQShda ishlatiladigan birlik piyoda dengiz suvi (fsw), asoslangan standart tortishish kuchi va dengiz suvining zichligi 64 funt / fut³. AQSh dengiz floti sho'ng'in qo'llanmasiga binoan bitta fsw 0,30643 msw ga teng, 0.030643 bar, yoki 0.44444 psi,^[2][3] garchi boshqa joylarda bu 33 fsw ekanligini bildiradi 14,7 psi (bitta atmosfera), bu taxminan 0,445 psi ga teng fsw beradi.^[4] Msw va fsw o'lchov uchun an'anaviy birliklardir g'avvos ishlatiladigan bosim dekompressiya jadvallari va uchun kalibrlash birligi pnevmofatometrlar va giperbarik xona bosim ko'rsatkichlari.^[5] Msw ham, fsw ham normal atmosfera bosimiga nisbatan o'lchanadi.

Vakuum tizimlarida birliklar torr (simob millimetri), mikron (simob mikrometri),^[6] va dyuym simob (ng ) eng ko'p ishlatiladi. Torr va mikron odatda mutlaq bosimni, inHg esa o'lchov bosimini bildiradi.

Atmosfera bosimi odatda gektopaskal (hPa), kilopaskal (kPa), millibar (mbar) yoki atmosfera (atm ). Amerika va Kanada muhandisligida stress ko'pincha o'lchanadi kip. E'tibor bering, stress bu haqiqiy bosim emas, chunki bunday emas skalar. In cgs tizim bosim birligi edi bariy (ba), 1 din · sm ga teng⁻². In mts tizim, bosim birligi edi pieze, 1 ga teng sten kvadrat metr uchun.

MmHg / sm kabi ko'plab boshqa gibrid birliklardan foydalaniladi² yoki gramm kuch / sm² (ba'zan [[kg / sm) sifatida²]] kuch birliklarini to'g'ri aniqlamasdan). SIda kuch birligi sifatida kilogramm, gramm, kilogramm kuchi yoki gramm kuchi (yoki ularning ramzlari) nomlaridan foydalanish taqiqlanadi; SIdagi kuch birligi - bu Nyuton (N).

Statik va dinamik bosim

Statik bosim barcha yo'nalishlarda bir xil, shuning uchun bosim o'lchovlari ko'chmas (statik) suyuqlikdagi yo'nalishga bog'liq emas. Oqim, oqim oqimiga perpendikulyar bo'lgan sirtlarga qo'shimcha bosim o'tkazadi, shu bilan birga oqim yo'nalishiga parallel yuzalarga ozgina ta'sir qiladi. Harakatlanuvchi (dinamik) suyuqlikdagi bosimning bu yo'naltiruvchi komponenti deyiladi dinamik bosim. Oqim yo'nalishiga qaragan asbob statik va dinamik bosimlarning yig'indisini o'lchaydi; bu o'lchov deyiladi umumiy bosim yoki turg'unlik bosimi. Dinamik bosim statik bosimga ishora qilinganligi sababli u na o'lchov, na mutlaq; bu differentsial bosim.

Statik o'lchagich bosimi quvur devorlariga aniq yuklarni aniqlash uchun asosiy ahamiyatga ega bo'lsa, dinamik bosim oqim tezligi va havo tezligini o'lchash uchun ishlatiladi. Dinamik bosimni oqimga parallel va perpendikulyar bo'lgan asboblar orasidagi differentsial bosimni olish orqali o'lchash mumkin. Pitot-statik naychalar Masalan, bu tezlikni aniqlash uchun samolyotlarda ushbu o'lchovni bajaring. O'lchov vositasining mavjudligi muqarrar ravishda oqimni yo'naltirishga va turbulentlikni yaratishga ta'sir qiladi, shuning uchun uning shakli aniqlik uchun juda muhimdir va kalibrlash egri chiziqli emas.

Ilovalar

• Altimetr
• Barometr
• Chuqurlik o'lchagichi
• Xarita sensori
• Pitot trubkasi
• Sfigmomanometr

Asboblar

A bosim o'lchagich amalda

Bosimni o'lchash uchun turli xil afzalliklar va kamchiliklarga ega bo'lgan ko'plab asboblar ixtiro qilingan. Bosim diapazoni, sezgirlik, dinamik ta'sir va xarajatlarning barchasi asboblar konstruktsiyasidan ikkinchisiga qadar bir nechta buyurtma bo'yicha farqlanadi. Eng qadimgi turi - bu suyuq ustun (simob bilan to'ldirilgan vertikal naycha) manometri tomonidan ixtiro qilingan Evangelista Torricelli 1643 yilda U-Tube tomonidan ixtiro qilingan Kristiya Gyuygens 1661 yilda.

Gidrostatik

Gidrostatik o'lchov asboblari (masalan, simob ustunli manometr) bosim ustunini suyuqlik ustuni bazasidagi birlik birligi uchun gidrostatik kuch bilan taqqoslaydi. Gidrostatik o'lchov o'lchovlari o'lchanadigan gaz turiga bog'liq emas va juda chiziqli kalibrlash uchun mo'ljallangan bo'lishi mumkin. Ular zaif dinamik javobga ega.

Piston

Piston tipidagi ko'rsatkichlar suyuqlik bosimini buloq bilan muvozanatlashtiradi (masalan.) shinalar uchun bosim ko'rsatkichlari nisbatan past aniqlikda) yoki qattiq og'irlikda, bu holda u a deb nomlanadi o'lik vaznni tekshiruvchi va boshqa o'lchagichlarni kalibrlash uchun ishlatilishi mumkin.

Suyuq ustun (manometr)

Suyuq ustunli manometrdagi suyuqlik balandligining farqi bosim farqiga mutanosib: ${displaystyle h = {frac {P_ {a} -P_ {o}} {gho}}}$

Suyuq kolonkali o'lchagichlar naychadagi suyuqlik ustunidan iborat bo'lib, uning uchlari har xil bosimga duchor bo'ladi. Ustun uning og'irligi (tortishish kuchi tufayli qo'llaniladigan kuch) trubaning ikki uchi orasidagi bosim differentsiali (suyuqlik bosimi tufayli qo'llaniladigan kuch) bilan muvozanatda bo'lguncha ko'tariladi yoki tushadi. Juda oddiy versiya - U yarim shaklga to'lgan suyuqlik shaklidagi naycha, uning bir tomoni qiziqish mintaqasiga bog'langan, ma'lumotnoma bosim (bu bo'lishi mumkin atmosfera bosimi yoki vakuum) boshqasiga qo'llaniladi. Suyuqlik darajasidagi farq qo'llaniladigan bosimni anglatadi. Balandlikdagi suyuqlik ustuni tomonidan bosim h va zichlik r gidrostatik bosim tenglamasi bilan berilgan, P = hg. Shuning uchun qo'llaniladigan bosim o'rtasidagi bosim farqi P_a va mos yozuvlar bosimi P₀ U trubkasi manometrida eritma orqali topish mumkin P_a − P₀ = hg. Boshqacha qilib aytganda, suyuqlikning har ikki uchidagi bosim (rasmda ko'k rangda ko'rsatilgan) muvozanatli bo'lishi kerak (suyuqlik statik bo'lgani uchun) va shuning uchun P_a = P₀ + hg.

Ko'pgina suyuqlik ustunli o'lchovlarda o'lchov natijasi balandlikdir h, odatda mm, sm yoki dyuym bilan ifodalanadi. The h deb ham tanilgan bosim boshi. Bosim boshi sifatida ifodalanganida bosim uzunlik birligida ko'rsatilgan va o'lchov suyuqligi ko'rsatilishi kerak. Aniqlik juda muhim bo'lsa, o'lchov suyuqligining harorati ham aniqlanishi kerak, chunki suyuqlik zichligi funktsiya hisoblanadi harorat. Masalan, bosim boshi "742,2 mm. Yozilishi mumkin_{Simob ustuni}"yoki" 4.2 dyuym_H2O manometrik suyuqlik sifatida mos ravishda simob yoki suv bilan olingan o'lchovlar uchun 59 ° F "da. Atmosfera bosimi ustidagi yoki pastidagi bosimni farqlash uchun bunday o'lchovga" o'lchov "yoki" vakuum "so'zi qo'shilishi mumkin. Ikkala mm simob va dyuymli suv umumiy bosim boshlari bo'lib, ular yordamida bosimning SI birliklariga aylantirilishi mumkin birlik konversiyasi va yuqoridagi formulalar.

Agar o'lchanadigan suyuqlik sezilarli darajada zich bo'lsa, suyuqlikning differentsial bosimini o'lchashdan tashqari (masalan, manometr ishlaydigan suyuqlikning harakatlanuvchi yuzasi va bosimni o'lchash kerak bo'lgan joy orasidagi balandlik uchun gidrostatik tuzatishlar kiritilishi kerak) bo'ylab teshik plitasi yoki venturi), bu holda r zichligi o'lchanadigan suyuqlikning zichligini olib tashlash orqali tuzatilishi kerak.^[7]

Har qanday suyuqlik ishlatilishi mumkin bo'lsa-da, simob yuqori zichligi (13,534 g / sm) uchun afzaldir³) va past bug 'bosimi. Uning konveksi meniskus foydalidir, chunki bu bosim bilan bog'liq xatolar bo'lmaydi namlash stakan, garchi juda toza sharoitda bo'lsa ham, simob shishaga yopishib qoladi va barometr tiqilib qolishi mumkin (simob salbiy mutlaq bosim ) hatto kuchli vakuum ostida.^[8] Past bosim farqlari uchun odatda engil yog 'yoki suv ishlatiladi (ikkinchisi kabi o'lchov birliklarini keltirib chiqaradi) dyuymli suv o'lchagich va millimetr H₂O ). Suyuq kolonli bosim ko'rsatkichlari yuqori chiziqli kalibrlashga ega. Ular zaif dinamik reaktsiyaga ega, chunki ustundagi suyuqlik bosim o'zgarishiga sekin ta'sir qilishi mumkin.

Vakuumni o'lchashda ishlaydigan suyuqlik bug'lanib, vakuumni ifloslantirishi mumkin bug 'bosimi juda baland. Suyuqlik bosimini o'lchashda gaz yoki engil suyuqlik bilan to'ldirilgan tsikl suyuqliklarning aralashishini oldini olish uchun ularni ajratib turishi mumkin, ammo bu keraksiz bo'lishi mumkin, masalan, simob suyuqlikning differentsial bosimini o'lchash uchun manometr suyuqligi sifatida ishlatilganda. suv. Oddiy gidrostatik o'lchovlar bir necha bosimni o'lchashi mumkin torrlar (bir necha 100 Pa) bir necha atmosferaga (taxminan 1000000 Pa).

Bir oyoqli suyuq ustunli manometr U trubkasining bir tomoni o'rniga kattaroq suv omboriga ega va tor ustun yonida shkalaga ega. Suyuqlik harakatini yanada kuchaytirish uchun ustun moyil bo'lishi mumkin. Foydalanish va tuzilishga asoslanib manometrlarning quyidagi turlari qo'llaniladi^[9]

1. Oddiy manometr
2. Mikromanometr
3. Differentsial manometr
4. Teskari differentsial manometr

McLeod o'lchagichi

McLeod o'lchagichi, simobdan quritilgan

A McLeod o'lchagichi gaz namunasini ajratib oladi va o'zgartirilgan simob manometrida bosim bir necha bo'lguncha siqadi millimetr simob. Texnika juda sekin va doimiy ravishda kuzatib borishga yaroqsiz, ammo yaxshi aniqlikka qodir. Boshqa manometrlardan farqli o'laroq, McLeod ko'rsatkichi gazning tarkibiga bog'liq, chunki talqin namuna sifatida siqilishga asoslangan ideal gaz. Siqish jarayoni tufayli McLeod o'lchagichi kondensatsiyalanadigan ideal bo'lmagan bug'larning qisman bosimini, masalan, nasos moylari, simob va hattoki suv etarli darajada siqilgan taqdirda butunlay e'tiborsiz qoldiradi.

Foydali diapazon: 10 dan boshlab⁻⁴ Torr^[10] (taxminan 10⁻² Pa) 10 ga qadar bo'lgan vakuumlarga⁻⁶ Torr (0,1 mPa),

0,1 mPa - bu hozirgi texnologiyada mumkin bo'lgan eng past to'g'ridan-to'g'ri bosim o'lchovidir. Boshqa vakuum o'lchagichlari past bosimni o'lchashi mumkin, ammo bilvosita faqat bosimga bog'liq boshqa xususiyatlarni o'lchash orqali. Ushbu bilvosita o'lchovlar SI birliklariga to'g'ridan-to'g'ri o'lchov bilan sozlanishi kerak, ko'pincha McLeod o'lchagichi.^[11]

Aneroid

Aneroid o'lchagichlar element bo'ylab bosim farqi ta'sirida elastik ravishda egiluvchi metall bosimni sezuvchi elementga asoslangan. "Aneroid" "suyuqliksiz" degan ma'noni anglatadi va bu atama dastlab ushbu ko'rsatkichlarni yuqorida tavsiflangan gidrostatik o'lchagichlardan ajratib turadi. Shu bilan birga, aneroid o'lchagichlar suyuqlik va gaz bosimini o'lchash uchun ishlatilishi mumkin va ular suyuqliksiz ishlay oladigan yagona o'lchov turi emas. Shu sababli ular tez-tez chaqiriladi mexanik zamonaviy tilda o'lchagichlar. Aneroid o'lchagichlari termal va ionlash ko'rsatkichlaridan farqli o'laroq o'lchov qilinadigan gaz turiga bog'liq emas va tizimni gidrostatik o'lchagichlarga qaraganda kamroq ifloslantiradi. Bosim sezgir elementi a bo'lishi mumkin Burdon trubkasi, diafragma, kapsula yoki pufaklar to'plami, ular ko'rib chiqilayotgan mintaqaning bosimiga javoban shaklini o'zgartiradi. Bosim sezgir elementining burilishini ignaga ulangan bog'lanish orqali o'qish mumkin yoki uni ikkinchi darajali transduser o'qishi mumkin. Zamonaviy vakuum o'lchagichlarida eng ko'p uchraydigan ikkilamchi transduserlar mexanik burilish tufayli sig'imning o'zgarishini o'lchaydilar. Imkoniyatning o'zgarishiga tayanadigan o'lchagichlar ko'pincha sig'im manometrlari deb nomlanadi.

Burdon o'lchovi

Membrana tipidagi manometr

Burdon bosim o'lchagichi yassilangan naycha bosim o'tkazganda uning kesimida dumaloq shaklini to'g'rilashga yoki tiklashga intilish printsipidan foydalanadi. Kesmaning bu o'zgarishi deyarli sezilmasligi va o'rtacha darajada bo'lishi mumkin stresslar oson ishlov beradigan materiallarning elastik diapazonida. The zo'riqish kolba materialining kattalashtirilishi naychani C shaklida yoki hatto spiral shaklida hosil qilish orqali amalga oshiriladi, shunday qilib butun naycha bosim ostida bo'lgani kabi egiluvchan ravishda tekislanadi yoki siljiydi. Ejen Bourdon 1849 yilda Frantsiyada uning o'lchagichini patentladi va u o'zining yuqori sezgirligi, chiziqliligi va aniqligi tufayli keng qabul qilindi; Edvard Ashkroft 1852 yilda Bourdonning Amerikadagi patent huquqlarini sotib oldi va o'lchov asboblarining asosiy ishlab chiqaruvchisiga aylandi. Shuningdek, 1849 yilda Germaniyaning Magdeburg shahrida joylashgan Bernard Schaeffer muvaffaqiyatli diafragmani patentladi (quyida ko'rib chiqing), Burdon o'lchagichi bilan birgalikda sanoatda bosim o'lchovini inqilob qildi.^[12] Ammo 1875 yilda Bourdonning patent muddati tugagandan so'ng, uning kompaniyasi Sheffer va Budenberg shuningdek, Bourdon truboprovodlarini ishlab chiqargan.

19-asrning asl nusxasi Eugene Bourdon, pastda ham, atrofda ham bosimni juda sezgirlik bilan o'qiydi

Amalda, tekislangan yupqa devorli, yopiq naycha ichi bo'sh uchida o'lchanadigan suyuqlik bosimini o'z ichiga olgan sobit trubaga ulanadi. Bosim oshishi bilan yopiq uchi yoyda harakat qiladi va bu harakat odatda sozlanishi bog'laydigan zveno orqali (a segmenti) tishli vintning aylanishiga aylanadi. Kichik diametrli pinyon tishli qutisi ko'rsatkich milida, shuning uchun harakat yanada kattalashtiriladi tishli nisbati. Ko'rsatkich kartasining ko'rsatgich orqasida joylashishi, ko'rsatgich milining dastlabki holati, bog'lanish uzunligi va boshlang'ich pozitsiyasi, barchasi Burdon trubkasining o'zini tutishidagi o'zgarishlar uchun kerakli bosim oralig'ini ko'rsatish uchun ko'rsatkichni kalibrlash uchun vositalarni taqdim etadi. Differentsial bosimni ikkita turli xil Burdon naychalarini o'z ichiga olgan o'lchov moslamalari bilan o'lchash mumkin.

Burdon naychalari o'lchovi bosim o'lchagichi, aksincha, atmosfera bosimiga nisbatan mutlaq bosim; vakuum teskari harakat sifatida seziladi. Ba'zi aneroid barometrlarda Burdon naychalari ikkala uchida yopiq ishlatiladi (lekin ko'plari diafragma yoki kapsuladan foydalanadilar, quyida ko'rib chiqing). O'lchangan bosim tez pulsatsiyalanayotganda, masalan, ko'rsatkich a ga yaqin bo'lganida pistonli nasos, an teshik ulanish trubkasidagi cheklov tez-tez tishli g'ildiraklarning keraksiz aşınmasını oldini olish va o'rtacha ko'rsatkichni ta'minlash uchun ishlatiladi; butun o'lchagich mexanik tebranishga duch kelganda, ko'rsatkich va ko'rsatkich kartasini o'z ichiga olgan barcha ishlarni moy bilan to'ldirish mumkin yoki glitserin. O'lchagichni yuziga tegizish tavsiya etilmaydi, chunki u dastlab o'lchagich tomonidan taqdim etilgan haqiqiy ko'rsatkichlarni soxtalashtiradi. Burdon trubkasi o'lchagichning yuzidan ajralib turadi va shu bilan bosimning haqiqiy ko'rsatkichiga ta'sir qilmaydi. Odatda yuqori sifatli zamonaviy o'lchagichlar oraliqning ± 2% aniqligini ta'minlaydi va maxsus yuqori aniqlikdagi o'lchov to'liq o'lchovning 0,1% gacha aniq bo'lishi mumkin.^[13]

Kuchli muvozanatli birlashtirilgan kvarts burdon naychasining datchiklari xuddi shu printsip asosida ishlaydi, lekin naychaning kuchini muvozanatlash va burchakning siljishini qaytarish uchun elektromagnitlarga oqim va elektromagnitlarga qo'llaniladi. nol, sariqlarga qo'llaniladigan oqim o'lchov sifatida ishlatiladi. Kvarsning juda barqaror va takrorlanadigan mexanik va issiqlik xususiyatlari va deyarli barcha jismoniy harakatlarni bartaraf etadigan kuchlarni muvozanatlashuvi tufayli ushbu sensorlar taxminan 1 ga to'g'ri kelishi mumkin.PPM to'liq hajmdagi.^[14] Qo'lda bajarilishi kerak bo'lgan juda yaxshi birlashtirilgan kvarts konstruktsiyalari tufayli ushbu sensorlar odatda ilmiy va kalibrlash maqsadlari bilan cheklangan.

Quyidagi rasmlarda tasvirlangan kombinatsiyalangan bosim va vakuum o'lchagichining shaffof qopqog'i yuzi olib tashlandi va mexanizm ishdan chiqarildi. Ushbu maxsus o'lchov vositasi avtomobil diagnostikasi uchun ishlatiladigan vakuum va bosim ko'rsatkichidir:

Ko'rsatkich tomoni karta va terish bilan

Burdon trubkasi bilan mexanik tomoni

• Yuzning chap tomoni, o'lchash uchun ishlatiladi ko'p qirrali vakuum, ichida kalibrlangan santimetr simob uning ichki miqyosida va dyuym simob tashqi miqyosda.
• Yuzning o'ng qismi o'lchov uchun ishlatiladi yonilg'i pompasi bosim yoki turbo kuchaytirish va ichida sozlangan kasrlar 1 dan kgf /sm² uning ichki miqyosida va kvadrat dyuym uchun funt tashqi miqyosda.

Mexanik detallar

Mexanik detallar

Statsionar qismlar:

• Javob: qabul qiluvchining bloki. Bu kirish trubkasini Burdon naychasining (1) sobit uchiga qo'shib, shassi plitasini (B) mahkamlaydi. Ikkala teshik korpusni mustahkamlovchi vintlarni oladi.
• B: shassi plitasi. Bunga yuz kartasi biriktirilgan. U akslar uchun rulman teshiklarini o'z ichiga oladi.
• C: Ikkilamchi shassi plitasi. U o'qlarning tashqi uchlarini qo'llab-quvvatlaydi.
• D: ikkita shassi plitalarini birlashtirish va bo'sh joy uchun postlar.

Harakatlanuvchi qismlar:

1. Burdon naychasining statsionar uchi. Bu qabul qiluvchi blok orqali kirish trubkasi bilan aloqa qiladi.
2. Burdon naychasining harakatlanuvchi uchi. Ushbu uchi muhrlangan.
3. Pivot va burama pin
4. Birlashma burilish pimini qo'lga (5) bog'lashni aylantirish uchun pinalar bilan bog'lang
5. Sektor tishli uzatmasi (7)
6. Sektor tishli o'qi pimi
7. Sektor uzatmalari
8. Ko'rsatkich ignasi o'qi. Unda sektor tishli uzatmasiga (7) ulanadigan va indikator ignasini haydash uchun yuz bo'ylab cho'zilgan tishli uzatma mavjud. Qo'l tirgovichi bilan burilish pimi orasidagi qisqa masofa va sektor tishli qutisi bilan tirgakning tishli uzatmasi orasidagi farq tufayli Bourdon trubkasining har qanday harakati juda kuchayadi. Naychaning kichik harakati indikator ignasining katta harakatlanishiga olib keladi.
9. Tishli kirpiklarni yo'q qilish uchun tishli poezdni oldindan yuklash uchun sochlar bulog'i va histerez

Diafragma

Aneroid o'lchagichning ikkinchi turi ishlatiladi burilish moslashuvchan membrana turli xil bosimdagi mintaqalarni ajratib turadi. Burilish miqdori ma'lum bosimlar uchun takrorlanishi mumkin, shuning uchun bosim kalibrlash yordamida aniqlanishi mumkin. Yupqa diafragmaning deformatsiyasi uning ikki yuzi orasidagi bosim farqiga bog'liq. Yo'naltiruvchi yuz o'lchov bosimini o'lchash uchun atmosferaga ochiq bo'lishi mumkin, differentsial bosimni o'lchash uchun ikkinchi portga ochilishi yoki mutlaq bosimni o'lchash uchun vakuum yoki boshqa qattiq mos yozuvlar bosimiga muhrlanishi mumkin. Deformatsiyani mexanik, optik yoki sig'imli usullar yordamida o'lchash mumkin. Seramika va metall diafragmalar qo'llaniladi.

Foydali diapazon: 10 dan yuqori⁻² Torr ^[15] (taxminan 1 Pa )

Mutlaq o'lchovlar uchun ko'pincha ikki tomonida diafragma bo'lgan payvandlangan bosim kapsulalari ishlatiladi.

shakli:

• Yassi
• Gofrirovka qilingan
• Yassi trubka
• Kapsül

Körükler

Aneroidda gofrirovka qilingan diafragma bo'lgan bosim kapsulalari to'plami barograf

Kichik bosimlarni yoki bosimdagi farqlarni sezish uchun mo'ljallangan yoki mutlaq bosimni o'lchashni talab qiladigan o'lchagichlarda tishli poezd va igna yopiq va muhrlangan körük kamerasi tomonidan boshqarilishi mumkin. aneroid, bu "suyuqliksiz" degan ma'noni anglatadi. (Erta barometrlar suv yoki suyuq metall kabi suyuqlik ustunidan foydalanilgan simob tomonidan to'xtatilgan vakuum.) Ushbu qo'ng'iroq konfiguratsiyasi aneroid barometrlarda ishlatiladi (ko'rsatgich igna va terish kartasi bo'lgan barometrlar), altimetrlar, balandlikni qayd etish barograflar va balandlik telemetriya ishlatiladigan asboblar ob-havo shari radiozondlar. Ushbu qurilmalar muhrlangan kamerani mos yozuvlar bosimi sifatida ishlatadi va tashqi bosim tomonidan boshqariladi. Kabi boshqa sezgir samolyot asboblari havo tezligi ko'rsatkichlari va ko'tarilish ko'rsatkichlari darajasi (variometrlar ) aneroid kamerasining ichki qismi bilan ham, tashqi yopiq kamerasi bilan ham aloqalarga ega.

Magnit birikma

Ushbu ko'rsatkichlar differentsial bosimni terish ko'rsatkichining harakatiga o'tkazish uchun ikkita magnitning tortishishidan foydalanadi. Diferensial bosim oshganda, pistonga yoki rezina diafragma bilan bog'langan magnit harakatlanadi. Keyin ko'rsatkichga biriktirilgan aylanadigan magnit bir ovozdan harakat qiladi. Turli xil bosim diapazonlarini yaratish uchun kamon tezligini oshirish yoki kamaytirish mumkin.

Spinning-rotor o'lchagichi

Spinning-rotor o'lchagichi o'lchanadigan gazning yopishqoqligi bilan aylanadigan sharning sekinlashishini o'lchash orqali ishlaydi. To'p po'latdan yasalgan va magnitlangan tarzda bir uchida yopilgan po'lat trubka ichida, ikkinchisida o'lchash uchun gaz ta'sirida. To'p tezlikka etkaziladi (taxminan 2500)rad / s) va elektromagnit transduserlar yordamida diskni o'chirgandan keyin o'lchangan tezlik.^[16] Asbobning diapazoni 10 ga teng⁻⁵ 10 ga² Pa (10³ Kamroq aniqlik bilan Pa). A sifatida foydalanish uchun u etarlicha aniq va barqaror ikkilamchi standart. To'g'ri ishlatish uchun asbob biroz mahorat va bilim talab qiladi. Har xil tuzatishlar kiritilishi va to'pni ishlatishdan oldin besh soat davomida mo'ljallangan o'lchov bosimidan ancha past bosim ostida aylantirilishi kerak. Bu yuqori aniqlik talab etiladigan va malakali texnik xodimlar mavjud bo'lgan kalibrlash va tadqiqot laboratoriyalarida eng foydalidir.^[17]

Elektron bosim asboblari

Metall kuchlanish o'lchagich

Drenaj o'lchagichi odatda membranaga yopishtirilgan (folga o'lchagich) yoki yotqizilgan (yupqa plyonkali kuchlanish o'lchagichi). Membrananing bosim tufayli burilishi, elektron o'lchash mumkin bo'lgan kuchlanish o'lchagichidagi qarshilik o'zgarishini keltirib chiqaradi.

Piezoresistiv kuchlanish ko'rsatkichi

Dan foydalanadi piezoresistiv qo'llaniladigan bosim tufayli kuchlanishni aniqlash uchun bog'langan yoki hosil bo'lgan kuchlanish o'lchagichlarining ta'siri.

Piezoresistiv silikon bosim sensori

Sensor odatda haroratni qoplaydi, piezoresistiv mukammal ishlashi va uzoq muddatli barqarorligi uchun tanlangan silikon bosim sensori. 0-50 ° S oralig'ida integral harorat kompensatsiyasi ta'minlanadi lazer bilan kesilgan rezistorlar. Tashqi differentsial kuchaytirgichning daromadini dasturlash orqali bosimga sezgirlik o'zgarishini normallashtirish uchun qo'shimcha lazer bilan kesilgan qarshilik mavjud. Bu yaxshi sezgirlik va uzoq muddatli barqarorlikni ta'minlaydi. Sensorning ikkita porti, bitta transduserga bosim o'tkazing, iltimos, quyida bosim oqimi diagrammasiga qarang.

Bu soddalashtirilgan diagramma, ammo siz datchikdagi ichki portlarning asosiy dizaynini ko'rishingiz mumkin. Bu erda ta'kidlash kerak bo'lgan muhim narsa "Diafragma" dir, chunki bu sensorning o'zi. Iltimos, iltimos, uning shakli biroz konveks (rasmda juda abartılı), bu juda muhim, chunki u ishlatilayotgan datchikning aniqligiga ta'sir qiladi. Sensorning shakli muhim, chunki u RED Oklar ko'rsatilgandek havo oqimi yo'nalishi bo'yicha ishlash uchun sozlang qilingan. Bu bosim sensori uchun normal ishlash, raqamli bosim o'lchagichining displeyida ijobiy ko'rsatkichni ta'minlaydi. Bosimni teskari yo'nalishda qo'llash natijalardagi xatolarni keltirib chiqarishi mumkin, chunki havo bosimi harakati diafragmani teskari yo'nalishda harakat qilishga majbur qilmoqda. Bunga sabab bo'lgan xatolar kichik, ammo muhim bo'lishi mumkin va shuning uchun har doim ijobiy (+ ve) portga ko'proq ijobiy bosim, pastroq esa salbiy (-ve) portga ta'sir qilishini ta'minlash har doim afzaldir , "Bosim o'lchovi" normal ishlashi uchun. Xuddi shu narsa ikkita changyutgich orasidagi farqni o'lchash uchun ham qo'llaniladi, katta vakuum har doim salbiy (-ve) portga qo'llanilishi kerak, Uitstoun ko'prigi orqali bosimni o'lchash shunga o'xshash ko'rinadi ...

Ilova sxemasi

Transduserning samarali elektr modeli, asosiy signalni konditsiyalash sxemasi bilan birgalikda dastur sxemasida ko'rsatilgan. Bosim sensori bu to'liq ishlaydigan Wheatstone ko'prigi bo'lib, u haroratni qoplagan va qalin plyonka, lazer bilan kesilgan rezistorlar yordamida sozlangan. Ko'prikka qo'zg'alish doimiy oqim orqali qo'llaniladi. Past darajadagi ko'prik chiqishi + O va -O darajasida va kuchaytirilgan masofa daromadni dasturlash qarshiligi (r) bilan o'rnatiladi. Elektr dizayni mikroprotsessor tomonidan boshqariladi, bu kalibrlash, foydalanuvchi uchun qo'shimcha funktsiyalar, masalan, Scale Selection, Data Hold, Zero va Filter funktsiyalari, MAX / MIN-ni saqlaydigan / aks ettiruvchi Yozish funktsiyasi.

Imkoniyatli

O'zgaruvchini yaratish uchun diafragma va bosim bo'shlig'idan foydalanadi kondansatör qo'llaniladigan bosim tufayli kuchlanishni aniqlash uchun.

Magnit

O'zgarishlar yordamida diafragmaning siljishini o'lchaydi induktivlik (noilojlik), LVDT, Zal effekti, yoki tomonidan oqim oqimi tamoyil.

Pyezoelektrik

Dan foydalanadi pyezoelektrik bosim tufayli sezgirlik mexanizmiga tushadigan yukni o'lchash uchun kvarts kabi ba'zi materiallarda ta'sir.

Optik

Amaldagi bosim tufayli kuchlanishni aniqlash uchun optik tolaning jismoniy o'zgarishini qo'llaydi.

Potansiyometrik

Qo'llaniladigan bosim natijasida kelib chiqadigan kuchlanishni aniqlash uchun rezistent mexanizm bo'ylab artgichning harakatidan foydalanadi.

Rezonans

O'zgarishlardan foydalanadi rezonans chastotasi bosimni keltirib chiqaradigan stressni yoki gaz zichligining o'zgarishini o'lchash uchun sezgir mexanizmda.

Issiqlik o'tkazuvchanligi

Odatda, a haqiqiy gaz zichlikning oshishi - bu o'sishni ko'rsatishi mumkin bosim - uning issiqlik o'tkazuvchanligi kuchayadi. Ushbu turdagi o'lchagichda sim filament u orqali ishlaydigan oqim bilan isitiladi. A termojuft yoki qarshilik termometri (RTD) keyinchalik filamaning haroratini o'lchash uchun ishlatilishi mumkin. Ushbu harorat filaman atrofdagi gazga issiqlikni yo'qotish tezligiga va shuning uchun issiqlik o'tkazuvchanligiga bog'liq. Umumiy variant - bu Pirani o'lchagichi, ham qizdirilgan element, ham RTD sifatida bitta platina filamanidan foydalanadi. Ushbu ko'rsatkichlar 10 dan aniq⁻³ Torrdan 10 gacha Torr, ammo ularning kalibrlanishi o'lchanadigan gazlarning kimyoviy tarkibiga sezgir.

Pirani (bitta sim)

Pirani vakuum o'lchagichi (ochiq)

A Pirani o'lchagichi o'lchanadigan bosimga ochiq bo'lgan metall simdan iborat. Tel isitiladi u orqali o'tadigan va uni o'rab turgan gaz bilan sovigan oqim bilan. Agar gaz bosimi pasaytirilsa, sovutish effekti pasayadi, shuning uchun simning muvozanat harorati oshadi. The qarshilik of the wire is a function of its temperature: by measuring the Kuchlanish across the wire and the joriy flowing through it, the resistance (and so the gas pressure) can be determined. This type of gauge was invented by Marcello Pirani.

Two-wire

In two-wire gauges, one wire coil is used as a heater, and the other is used to measure temperature due to konvektsiya. Thermocouple gauges va thermistor gauges work in this manner using a termojuft yoki termistor, respectively, to measure the temperature of the heated wire.

Ionization gauge

Ionization gauges are the most sensitive gauges for very low pressures (also referred to as hard or high vacuum). They sense pressure indirectly by measuring the electrical ions produced when the gas is bombarded with electrons. Fewer ions will be produced by lower density gases. The calibration of an ion gauge is unstable and dependent on the nature of the gases being measured, which is not always known. They can be calibrated against a McLeod gauge which is much more stable and independent of gas chemistry.

Termion emissiya generates electrons, which collide with gas atoms and generate positive ionlari. The ions are attracted to a suitably xolis electrode known as the collector. The current in the collector is proportional to the rate of ionization, which is a function of the pressure in the system. Hence, measuring the collector current gives the gas pressure. There are several sub-types of ionization gauge.

Useful range: 10⁻¹⁰ - 10⁻³ torr (roughly 10⁻⁸ - 10⁻¹ Pa)

Most ion gauges come in two types: hot katod and cold cathode. In hot cathode version, an electrically heated filament produces an electron beam. The electrons travel through the gauge and ionize gas molecules around them. The resulting ions are collected at a negative electrode. The current depends on the number of ions, which depends on the pressure in the gauge. Hot cathode gauges are accurate from 10⁻³ Torr to 10⁻¹⁰ Torr. The principle behind cold cathode version is the same, except that electrons are produced in the discharge of a high voltage. Cold cathode gauges are accurate from 10⁻² Torr 10 ga⁻⁹ Torr. Ionization gauge calibration is very sensitive to construction geometry, chemical composition of gases being measured, corrosion and surface deposits. Their calibration can be invalidated by activation at atmospheric pressure or low vacuum. The composition of gases at high vacuums will usually be unpredictable, so a mass-spektrometr must be used in conjunction with the ionization gauge for accurate measurement.^[18]

Issiq katot

Bayard–Alpert hot-cathode ionization gauge

A hot-cathode ionization gauge is composed mainly of three electrodes acting together as a triod, bu erda katod is the filament. The three electrodes are a collector or plate, a filament va a panjara. The collector current is measured in pikoamperlar tomonidan elektrometr. The filament voltage to ground is usually at a potential of 30 volts, while the grid voltage at 180–210 volts DC, unless there is an optional electron bombardment feature, by heating the grid, which may have a high potential of approximately 565 volts.

The most common ion gauge is the hot-cathode Bayard–Alpert gauge, with a small ion collector inside the grid. A glass envelope with an opening to the vacuum can surround the electrodes, but usually the nude gauge is inserted in the vacuum chamber directly, the pins being fed through a ceramic plate in the wall of the chamber. Hot-cathode gauges can be damaged or lose their calibration if they are exposed to atmospheric pressure or even low vacuum while hot. The measurements of a hot-cathode ionization gauge are always logarithmic.

Electrons emitted from the filament move several times in back-and-forth movements around the grid before finally entering the grid. During these movements, some electrons collide with a gaseous molecule to form a pair of an ion and an electron (electron ionization ). Ularning soni ionlari is proportional to the gaseous molecule density multiplied by the electron current emitted from the filament, and these ions pour into the collector to form an ion current. Since the gaseous molecule density is proportional to the pressure, the pressure is estimated by measuring the ion current.

The low-pressure sensitivity of hot-cathode gauges is limited by the photoelectric effect. Electrons hitting the grid produce x-rays that produce photoelectric noise in the ion collector. This limits the range of older hot-cathode gauges to 10⁻⁸ Torr and the Bayard–Alpert to about 10⁻¹⁰ Torr. Additional wires at cathode potential in the line of sight between the ion collector and the grid prevent this effect. In the extraction type the ions are not attracted by a wire, but by an open cone. As the ions cannot decide which part of the cone to hit, they pass through the hole and form an ion beam. This ion beam can be passed on to a:

• Faraday kubogi
• Mikrokanalli plastinka detektori with Faraday cup
• Quadrupole massa analizatori with Faraday cup
• Quadrupole massa analizatori with microchannel plate detector and Faraday cup
• Ion lens and acceleration voltage and directed at a target to form a sputter gun. In this case a valve lets gas into the grid-cage.

Sovuq katot

Penning vacuum gauge (open)

There are two subtypes of sovuq katod ionization gauges: the Penning gauge (invented by Frans Michel Penning ), va inverted magnetron, shuningdek, a deb nomlangan Redhead gauge. The major difference between the two is the position of the anod ga nisbatan katod. Neither has a filament, and each may require a DC potential of about 4 kV ishlash uchun. Inverted magnetrons can measure down to 1×10⁻¹²  Torr.

Likewise, cold-cathode gauges may be reluctant to start at very low pressures, in that the near-absence of a gas makes it difficult to establish an electrode current - in particular in Penning gauges, which use an axially symmetric magnetic field to create path lengths for electrons that are of the order of metres. In ambient air, suitable ion-pairs are ubiquitously formed by cosmic radiation; in a Penning gauge, design features are used to ease the set-up of a discharge path. For example, the electrode of a Penning gauge is usually finely tapered to facilitate the field emission of electrons.

Maintenance cycles of cold cathode gauges are, in general, measured in years, depending on the gas type and pressure that they are operated in. Using a cold cathode gauge in gases with substantial organic components, such as pump oil fractions, can result in the growth of delicate carbon films and shards within the gauge that eventually either short-circuit the electrodes of the gauge or impede the generation of a discharge path.

Comparison of pressure measurement instruments^[19]

Jismoniy hodisalar	Asbob	Governing equation	Cheklovchi omillar	Practical pressure range	Ideal accuracy	Javob vaqti
Mexanik	Liquid column manometer	${displaystyle Delta P=ho gh}$		atm. to 1 mbar
Mexanik	Capsule dial gauge		Ishqalanish	1000 to 1 mbar	±5% of full scale	Sekin
Mexanik	Kuchlanish o'lchagichi			1000 to 1 mbar		Tez
Mexanik	Capacitance manometer		Temperature fluctuations	atm to 10−6 mbar	±1% of reading	Slower when filter mounted
Mexanik	McLeod	Boyl qonuni		10 to 10−3 mbar	±10% of reading between 10−4 and 5⋅10−2 mbar
Transport	Spinning rotor (sudrab torting )			10−1 10 ga−7 mbar	±2.5% of reading between 10−7 va 10−2 mbar 2.5 to 13.5% between 10−2 and 1 mbar
Transport	Pirani (Wheatstone bridge )		Issiqlik o'tkazuvchanligi	1000 to 10−3 mbar (const. temperature) 10 to 10−3 mbar (const. voltage)	±6% of reading between 10−2 and 10 mbar	Tez
Transport	Thermocouple (Seebeck ta'siri )		Issiqlik o'tkazuvchanligi	5 dan 10 gacha−3 mbar	±10% of reading between 10−2 and 1 mbar
Ionlash	Cold cathode (Penning)		Ionization yield	10−2 10 ga−7 mbar	+100 to -50% of reading
Ionlash	Hot cathode (ionization induced by thermionic emission)		Low current measurement; parasitic x-ray emission	10−3 10 ga−10 mbar	±10% between 10−7 va 10−4 mbar ±20% at 10−3 va 10−9 mbar±100% at 10−10 mbar

Dynamic transients

When fluid flows are not in equilibrium, local pressures may be higher or lower than the average pressure in a medium. These disturbances propagate from their source as longitudinal pressure variations along the path of propagation. This is also called sound. Sound pressure is the instantaneous local pressure deviation from the average pressure caused by a sound wave. Sound pressure can be measured using a mikrofon in air and a gidrofon suvda. The effective sound pressure is the o'rtacha kvadrat of the instantaneous sound pressure over a given interval of time. Sound pressures are normally small and are often expressed in units of microbar.

• frequency response of pressure sensors
• rezonans

Calibration and standards

Dead-weight tester. This uses known calibrated weights on a piston to generate a known pressure.

The American Society of Mechanical Engineers (ASME) has developed two separate and distinct standards on pressure measurement, B40.100 and PTC 19.2. B40.100 provides guidelines on Pressure Indicated Dial Type and Pressure Digital Indicating Gauges, Diaphragm Seals, Snubbers, and Pressure Limiter Valves. PTC 19.2 provides instructions and guidance for the accurate determination of pressure values in support of the ASME Performance Test Codes. The choice of method, instruments, required calculations, and corrections to be applied depends on the purpose of the measurement, the allowable uncertainty, and the characteristics of the equipment being tested.

The methods for pressure measurement and the protocols used for data transmission are also provided. Guidance is given for setting up the instrumentation and determining the uncertainty of the measurement. Information regarding the instrument type, design, applicable pressure range, accuracy, output, and relative cost is provided. Information is also provided on pressure-measuring devices that are used in field environments i.e., piston gauges, manometers, and low-absolute-pressure (vacuum) instruments.

These methods are designed to assist in the evaluation of measurement uncertainty based on current technology and engineering knowledge, taking into account published instrumentation specifications and measurement and application techniques. This Supplement provides guidance in the use of methods to establish the pressure-measurement uncertainty.

Tarix

European (CEN) Standard

• EN 472 : Pressure gauge - Vocabulary.
• EN 837-1 : Pressure gauges. Bourdon tube pressure gauges. Dimensions, metrology, requirements and testing.
• EN 837-2 : Pressure gauges. Selection and installation recommendations for pressure gauges.
• EN 837-3 : Pressure gauges. Diaphragm and capsule pressure gauges. Dimensions, metrology, requirements, and testing.

BIZ MENDEK Standartlar

• B40.100-2013: Pressure gauges and Gauge attachments.
• PTC 19.2-2010 : Performance test code for pressure measurement.

Shuningdek qarang

Adabiyotlar

Manbalar

• AQSh dengiz kuchlari (2016 yil 1-dekabr). AQSh dengiz kuchlari sho'ng'in uchun qo'llanmani qayta ko'rib chiqish 7 SS521-AG-PRO-010 0910-LP-115-1921 (PDF). Vashington, DC: AQSh dengiz dengiz tizimlari qo'mondonligi. Arxivlandi (PDF) from the original on Dec 28, 2016.

Tashqi havolalar

• Home Made Manometer
• Manometr